Promotie: Waterstof
19 december 2012 | 10:00
plaats: Aula TU Delft
door M&C plaats: Aula TU Delft
Promotie van Mevrouw D. Uğur: "Molecular contamination phenomena in EUVL and mitigation methods with hydrogen"
Mevrouw D. Uğur | Master of Science in Mechanical Engineering, Turkije
promotor | Prof.dr. B.J. Thijsse 3mE
copromotor | Dr.ir. W.G. Sloof UHD-3mE
Molecular contamination phenomena in EUVL and mitigation methods with hydrogen
Meer informatie?
Voor inzage in proefschriften van de promovendi kunt u kijken in de TU Delft Repository op: repository.tudelft.nl. TU Delft Repository is de digitale vindplaats van openbare publicaties van de TU Delft. Proefschriften zullen binnen een paar weken na de desbetreffende promotie in de Repository te vinden zijn.
