Promotie K.T. Arat
09 juni 2021 12:30 - Locatie: Aula, TU Delft | Zet in mijn agenda
Simulation of electron-matter interaction in electron beam lithography and metrology. Promotor 1: Dr. C.W. Hagen (TNW); Promotor 2: Prof.dr.ir. P. Kruit (TNW).
Meer informatie?
Voor toegang tot de theses van de PhD-studenten kunt u kijken in de TU Delft Repository, de digitale opslag van publicaties van TU Delft. Theses zijn beschikbaar binnen enkele weken na de verdediging.