Structuur in dunne lagen

Laagdiktes, compositie en ruwheid bepalen
De neutronenreflectometer ROG kan informatie over de dikte, samenstelling en ruwheid van dunne films en andere gelaagde structuren geven. Neutronenreflectometrie kan worden gebruikt om zowel vloeibare als vaste stof samples bestaande uit (meerdere) lagen met elk diktes van 5-150 nm op niet-destructieve te bestuderen onder tal van verschillende experimentele omstandigheden. Hierbij kan een resolutie tot maximaal 0,2 nm behaald worden.

Concentraties meten
Met behulp van Neutronen Diepte Profilering (NDP) kan de concentratie van bijvoorbeeld He, Li, B of N worden gemeten als functie van de diepte in verschillende substraten.

Defecten onderzoeken
Defecten in dunne lagen tot een paar micrometer dik kunnen worden onderzocht met behulp van positronen.
 

Relevante faciliteiten


/* */